處理含氟廢水的方法和設備主要取決于廢水中氟化物的濃度和其他成分的特性。目前，常見含氟廢水的處理方法包括：活性炭吸附、離子交換、反滲透、氟化鎂沉淀法、生物處理和氧化法等。
其中，氧化法利用氧化劑(如臭氧、雙氧水等)可以將廢水中的氟化物氧化成無害的離子，對于有機氟廢水的處理效果較好。光芬頓作為高級氧化技術的一種，是將光(UV)引入芬頓反應，構建光助芬頓體系。
光芬頓技術有效克服了傳統芬頓反應Fe3+和Fe2+循環速率慢、易產生鐵泥等不足。同時，加速了傳統芬頓的反應效率，提高了有機氟的礦化程度，有效節約了運營成本。
目前UV-Fenton是光芬頓體系中較為成熟且高效的方法，其一方面可以利用紫外線的作用加速有機物的降解，另一方面促進了芬頓反應的進行，實現了氟氧化物的有效去除。
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