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超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制備過程
產品優勢:
1.安全可控
真空級平行光束儀進行理論安全劑量指導設計，足夠紫外線劑量實時輸出可調，系統智能自控。
⒉.更高的去除效率
更高純石英玻璃，系統185nm紫外線強度輸出較傳統產品提高50%以上。
3.CFD流體模擬
進行細節模擬設計，提高處理效率
4.性育總穩定、操作簡便
本地與遠程控制，配備PLC、觸摸屏，紫外強度實時顯示及預警
5.的加工工藝
采用設備、工藝加工，反應器內外電解拋光，Ra<0.2
6.多形式選擇
滿足現場多樣化安裝形式，產品可選擇成套撬裝，占地面積小。
UV超純水設備
產品規格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮流器 | 50~100%輸出功率可調 |
| 反應器材質 | 316L |
| 潔凈等級 | 內外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級 | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統 | 本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統 |
| UV強度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
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