臭氧發生器是臭氧系統的一部分，要實現完整的工業應用，還需要臭氧投加裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備，并由系統控制單元按照詳細的工藝要求和控制流程，對各個輔助設備進行協調控制，統一調度，保證整個生產流程的準確性、穩定性和可靠性。成熟的系統集成技術需要對不同行業的應用特點進行的長期的數據和經驗累積。

①臭氧投加技術：為了保證臭氧的充分利用，需要針對不同的工程應用特點，對臭氧投加濃度、投加量、投加方式、接觸時間等進行研究設計，開發高效的臭氧投加裝置，選擇適合的投加工藝。

②尾氣破壞技術：臭氧屬于對人體有害的強氧化性氣體，未被吸收的臭氧尾氣不能直接排放至大氣中，需要根據工程應用條件、尾氣濃度及其變化、工作氣量及其變化研究開發尾氣分解裝置和新型高效催化劑，保證臭氧尾氣分解效率，降低能耗。

③氣源處理技術：臭氧發生器在選用空氣或現場制取氧氣作為氣源時，原料氣中含有大量的水分、灰塵、油、碳氫化合物（烴）和氫之類的雜質，對臭氧發生器的安全運行具有較大危害，降低了臭氧產生效率，需要根據氣源中雜質的類型和含量設計開發氣源處理裝置，對氣源進行干燥、過濾、吸附處理。

④系統自動化控制技術：根據臭氧應用工藝流程，構建以臭氧發生器為核心，輔以其它外圍設備的完整的臭氧系統，并設計自動化控制與檢測系統，對供氣流量、臭氧濃度、投加功率等進行檢測和調節，實現故障診斷、報警、自動恢復，對整個系統進行協調控制，保證系統運行的準確性、可靠性。